通常,陶瓷球的精度对于陶瓷轴承的运转精度和高速性有很大影响,紧密和超精密主轴采用的陶瓷球的公差等级为G5,其球的直径变动和球型误差≦0.13μm,因此,为了高效的保证达到精度要求,使用金刚石磨具对其进行加工,加工的要点如下:
(1)要经过粗、精、超精研磨和抛光等多到工序,由粗到精逐渐减小磨料粒度、研磨压力和研磨速度,并逐步延长研磨时间。
(2)降低金刚石磨具研磨压力并且减小研磨盘的跳动。
(3)研磨剂应遵循少量勤添的原则。
(4)陶瓷球的材料应采用致密和缺陷小的热流体等静压烧结。
(5)采用锥形研磨法一提高研磨效率。
遵循陶瓷球的加工要求,利用金刚石磨具以及其他的工具,使其达到超精细的加工效果。